半导体电子设备供需缺口持续国产化蓄势待发牛

液压机械/部件2022年01月30日

建立健全“制度+科技+联动”创新防控管理络。 半导体、电子设备:供需缺口持续 国产化蓄势待发 类别: 机构: 研究员:

[摘要]

电镜下硅片上的SiO2薄膜在20世纪年代,人们主要选择锗作为半导体材料,但随后被硅取代,硅的主要优势有:

(1)硅的储量丰富:硅是地壳中含量最丰富的元素之一,占地壳元素含量的27.7%,占地球全部元素含量的15.1%;(2)更高的熔化温度:硅具有更高的熔点以适应高温加工,硅的熔点为1414℃,而锗为9 8℃;( )更宽的工作温度范围:硅的禁带宽度大于锗,为1.12eV,而锗为0.66eV。这使得硅可以在更宽的温度范围内工作,提升半导体器件工作的可靠性和稳定性。

(4)二氧化硅的自然生成:

在自然条件下,硅片表面会生长一层二氧化硅(SiO2),这层氧化层对后续半导体制备具有重要意义,主要有:

①作为天然钝化层,保护硅的表面,防止外部环境污染;②SiO2作为绝缘体,可以有效抑制相邻半导体的漏电现象;③抑制硅片在后续高温制程中产生过度的弯曲或翘曲现象。

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