磨刀霍霍各企业纷纷瞄准6英寸SiC晶圆新时代

近日，关于SiC功率半导体的国际学会 ICSCRM 201 于日本宫崎县举行。在展场内，多家SiC基板厂商展示了直径为6英寸（150mm）的晶圆。这种晶圆是现行 ～4英寸（75mm～100mm）晶圆的下一代产品。科锐已率先供货6英寸晶圆，但估计紧随其后的各SiC基板厂商会在201 年下半年～2014年陆续正式投放产品。

基板品质得到一致好评的新日铁住金目前已开始提供6英寸晶圆的样品，打算2014年开始量产供货。SMM讯：外盘走势：隔夜伦铜横盘震荡预定供应裸晶圆以及由外部企业完成外延膜成膜的外延晶圆。该公司称，其4英寸（100mm）晶圆的品质 包括差排缺陷密度在内，均达到了非常高的水平，6英寸晶圆也在减少缺陷迎头赶上 。目前新日铁住金正瞄准今后6英寸晶圆市场不断扩大的趋势， 讨论是否需要自己拥有外延膜成膜能力 。

另外，新日铁住金的母体企业是过去的新日本制铁和住友金属，住友金属以前一直在开发基于溶液法的SiC结晶成长技术。因此，新日铁住金目前正在同时开发溶液法和（原新日本制铁开发的）升华法两种技术。

罗姆旗下的SiCrystal公司将于201 年底～2014年 月开始量产供应6英寸晶圆。SiCrystal的销售代理商介绍说，SiCrystal并未开发外延晶圆，而是专注于如何低价供应高品质裸晶圆。由于建立了由罗姆迅速对开发出的SiC晶圆进行测都将带给玩家朋友们超乎想象的惊喜！欢迎大家踊跃参与各大活动评的体制，因此 可以尽快获得基板品质的相关反馈意见，从而促进品质的提高 。

昭和电工于201 年9月 0日已宣布确立了150mm直径外延晶圆的量产技术。该公司已从201 年初开始提供该晶圆的样品，将从10月开始提供产品。计划先只提供n型外延晶圆，2015年前后再开始提供p型外延晶圆。